凈化車間的溫濕度主要是依據生產加工技術性工藝技術規定來明確，在達到公司生產加工生產制造加工工藝的標準下，優選大家應當考慮到人的舒適度。

　　伴隨著在我國空氣潔凈度等級規定的提升，加工工藝對溫濕度的規定也愈來愈多越高，務必可以做到自身一定的溫濕度開展級別。比如在我國規模性數據集成系統軟件電源電路及其生產制造的光刻技術曝出加工工藝中，做為掩膜板原材料的夾層玻璃與單晶硅片的線膨脹系數的差規定學員愈來愈小。直徑100 um的單晶硅片，溫度持續升高1度，就造成了0.24um線形澎漲，因此老師務必有0.1度的控溫，另外發展趨勢規定工作中濕度值一般水準較低，由于汗之后，對商品銷售市場將有環境污染，尤其是怕鈉的半導體材料車間，這類根據車間不適合應用超出25度。濕度過高非常容易造成的難題給予大量。相對性濕度超出55%時，冷卻循環水壁厚上面冷凝水，假如產生在一個高精密操縱設備或電源電路中，便會造成造成社會發展各種各樣安全生產事故。相對性濕度在的時候容易銹蝕。殊不知，針對大部分清理室內空間而言，為了更好地避免外界環境污染的侵入，必須維持內部工作壓力(負壓)高過外界工作壓力(負壓)。清理室內空間的工作壓力高過非清理室內空間的工作壓力。壓差由新鮮空氣量維持，這填補了在這類壓差下空氣根據空隙的泄露。因此壓力差的物理意義便是空氣漏水(或滲入)時根據潔凈室的每個空隙時的摩擦阻力。

　　針對流場潔凈室，因為空氣稀釋液關鍵用以降低室內空氣污染，因此關鍵選用換風的定義，但速度的定義并不立即應用，但對流傳熱速度也是有下列規定；1.正壓送風口出入口的氣旋速度不適合過大。與獨立的中央空調屋子對比，規定速度衰減系數更快，蔓延角更高。2.空氣穿過平面的速度(如側送時的流回速度)不適合過高，以防將表層顆粒物吹返回空氣流中，導致二次污染。該速度一般不應是0.兩米/s。在我國《空氣潔凈度等級技術措施》和《潔凈廠房設計規范》均要求豎直平行面流(層.流)潔凈室為0.25米/秒，水準平行面流(層.流)潔凈室為0.35米/秒。